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通过空心阴极弧（HCA）实现等离子体活化物理汽相沉积（P…

来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：whqqqqqqq

【作 者】

：

Lunk A 高文娟 

【出 处】

：

国外核聚变与等离子体应用

【发表日期】

：

1992年2期

【关键词】

：

空心阴极弧 等离子体应用 沉积 

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