【摘 要】
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采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Ag靶的方法制备了不同厚度Ag夹层的ZnO（60nm）/Ag/ZnO（60nm）多层膜.分别用X射线衍射仪、紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的结构
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采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Ag靶的方法制备了不同厚度Ag夹层的ZnO（60nm）/Ag/ZnO（60nm）多层膜.分别用X射线衍射仪、紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的结构、光学性质、电学性质进行了研究.结果表明：随着Ag层厚度的增加,ZnO/Ag/ZnO多层膜呈现多晶结构,Ag（111）衍射峰的强度增强.Ag夹层厚度为11nm时,ZnO（60nm）/Ag/ZnO（60nm）膜在554nm处的透过率高达92.3%.随着Ag层厚度的增加,Ag膜的特征吸收峰呈现红移和宽化,ZnO/Ag/
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