【摘 要】
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透射电子显微镜(transmission electron microscopy,TEM)在工作状态时要求精确的合轴,电子枪作为TEM电子光学系统主要部件之一,要求电子源必须与镜筒中整个电磁透镜系统严格
【机 构】
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北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室国家“惯性技术”重点实验室,北京航空航天大学物理科学与核能工程学院
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透射电子显微镜(transmission electron microscopy,TEM)在工作状态时要求精确的合轴,电子枪作为TEM电子光学系统主要部件之一,要求电子源必须与镜筒中整个电磁透镜系统严格合轴,否则会造成到达样品的电子束流减少,引入球差等不良影响。在操作中灯丝像的对称性是判断电子枪是否合轴的重要判据。研究了TDX-200透射电子显微镜灯丝像的调节过程,给出了透射电子显微镜灯丝像的具体调节步骤,并通过课题室透射电子显微镜TDX-200进行了实际验证。
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