【摘 要】
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本文根据制备双面电极所要的温度场流场需求，设计了一个悬挂式的沉积平台，以满足工业级金刚石电极的制备需要。利用B2H6气体掺杂的方法制备不同掺杂浓度的金刚石电极，用SEM、Ram
【基金项目】
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国家自然科学基金（51005117）,南京航空航天大学研究生创新基金（KFJJ20110223）
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本文根据制备双面电极所要的温度场流场需求，设计了一个悬挂式的沉积平台，以满足工业级金刚石电极的制备需要。利用B2H6气体掺杂的方法制备不同掺杂浓度的金刚石电极，用SEM、Raman、四探针电阻仪对掺杂金刚石膜进行了分析，同时对制成的电极做了电化学性能的测试。结果表明，在设计的平台上可以制备出高质量的金刚石薄膜，B掺杂对金刚石膜的成分结构影响比较大，随着掺杂浓度的提高，晶粒细化明显，掺杂浓度过高薄膜质量下降。电化学性能的检测表明，气体掺杂的效率比较明显，在2000～4000ppm较低浓度下，电极已经表现出良
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