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Ge/Si量子点生长的研究进展
Ge/Si量子点生长的研究进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kfsoft2000
【摘 要】
:
回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬
【作 者】
:
鲁植全
王茺
杨宇
【机 构】
:
云南大学光电信息材料研究所
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2010年19期
【关键词】
:
Ge/Si量子点生长
图形衬底
表面原子掺杂
超薄SiO2层
Ge组分
growth of Ge/Si quantum dots
pattered subst
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回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原予掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以及Ge量子点的演变及组分变化。
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