定偏心锡磨盘超精密抛光均匀去除模拟计算

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通过对被研磨工件与锡磨盘相对运动轨迹方程的建立、模拟和计算,从理论上分析了影响获得超光滑金属表面(Ra05nm)的重要因素,以及如何选择运动参数。 Through the establishment, simulation and calculation of the relative motion trajectory equation between the workpiece and the tinplate, the important factors that influence the surface of the ultra-smooth metal (Ra0.5nm) are analyzed theoretically and how to select the motion parameters.
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