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期刊论文
氮化镓微波电子学的进展
氮化镓微波电子学的进展
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kaixin0322
【摘 要】
:
简要介绍宽禁带半导体氮化镓材料的生长,微波电子器件的物理特性、制造工艺和微波性能。
【作 者】
:
袁明文
潘静
【机 构】
:
电子部第十三所
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
宽禁带
半导体
微波器件
氮化镓
Wideband gapSemiconductorMicrowaveDevice
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简要介绍宽禁带半导体氮化镓材料的生长,微波电子器件的物理特性、制造工艺和微波性能。
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