用于铜互连CMP工艺的络合剂研究进展

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chaizw

【摘要】

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【作者】

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孙晓琴檀柏梅高宝红牛新环刘孟瑞高鹏程

【出处】

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微电子学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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铜互连化学机械平坦化络合剂官能团材料去除速率

【基金项目】

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国家中长期科技发展规划-科技重大专项项目(2016ZX02301003-004-007); 国家青年自然科学基金资助项目(61704046); 河北省自然科学基金资助项目(F2018202174)

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