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本文研究了ａ－Ｓｉ／Ｔｉ叠层膜在１８０℃温度下的互扩散，利用ＸＰＳ分析发现Ｔｉ，Ｓｉ原子具有相等的原子浓度，生成物为ＴｉＳｉ，利用ＵＳ／ＶＩＳ分光光度计测试了生成物的透过率，发现其透过度在紫外较ＩＴＯ膜提高，测量了ａ－Ｓｉ／Ｔｉ界面特性近似为欧姆接触，该生成物可作为一种光电薄膜。
a—Si／Ti叠层膜的相互扩散和光电特性
【摘 要】
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本文研究了ａ－Ｓｉ／Ｔｉ叠层膜在１８０℃温度下的互扩散，利用ＸＰＳ分析发现Ｔｉ，Ｓｉ原子具有相等的原子浓度，生成物为ＴｉＳｉ，利用ＵＳ／ＶＩＳ分光光度计测试了生成物的透过率，发现其透过度在紫外较ＩＴＯ膜提高，测量了ａ－Ｓｉ／Ｔｉ界面特性近似为欧姆
【机 构】
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汕头大学物理学系
【出 处】
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汕头大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年1期
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