【摘 要】
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利用溶胶凝胶工艺在Pt／TiO2／SiO2／Si衬底上制备了Ca0.4Sr0.6SmxBi4-xTi4O15铁电薄膜。研究了不同钐掺量对薄膜的显微结构、晶粒取向及铁电性能的影响。结果表明：钐掺杂对钙锶铋钛
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（50872075）,山东省自然科学基金项目（Y2007F36）
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利用溶胶凝胶工艺在Pt／TiO2／SiO2／Si衬底上制备了Ca0.4Sr0.6SmxBi4-xTi4O15铁电薄膜。研究了不同钐掺量对薄膜的显微结构、晶粒取向及铁电性能的影响。结果表明：钐掺杂对钙锶铋钛铁电薄膜既有抑制氧空位所导致的畴钉扎作用，也有抑制晶粒生长发育的作用。当钐掺量x=0．05时薄膜样品晶粒发育较良好，沿口轴择优取向，I（200）／I（119）=0．869；样品铁电性能优良，剩余极化强度Pr=10．2μC／cm^2，矫顽场强度Ec=120kV／cm。
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