【摘 要】
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采用改良西门子法生产多晶硅,其中还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备,钟罩的洁净直接影响生产能耗及成本,通过研究设计旋转清洗装置有效解决生产实际问题,为
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采用改良西门子法生产多晶硅,其中还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备,钟罩的洁净直接影响生产能耗及成本,通过研究设计旋转清洗装置有效解决生产实际问题,为生产提供强有力的保障,为公司节能降耗提供措施。该研究已获得成功并已经申报专利,发明专利号为201310209212.6。
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