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提出了一种新的计算光栅相移量点测量法.利用该方法可精确地计算出光栅相移量,精度达到1 nm.该方法抛弃了非定步长算法中利用傅立叶变换获取光栅相移量的方式,使非定步长相移算法在三维曲面形貌测量中的应用进一步趋向完善.
基于点测量法的非定步长相移恢复算法
【摘 要】
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提出了一种新的计算光栅相移量点测量法.利用该方法可精确地计算出光栅相移量,精度达到1 nm.该方法抛弃了非定步长算法中利用傅立叶变换获取光栅相移量的方式,使非定步长相移
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2004年2期
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