【摘 要】
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论述了常规裸芯片质量与可靠性保证的标准和技术，针对功率器件裸芯片，提出了高性能和高可靠性设计、制造工艺保障、验证筛选等质量与可靠性保证方法和技术途径；讨论了采用临时封
【机 构】
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电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室；信息产业部电子第五研究所
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论述了常规裸芯片质量与可靠性保证的标准和技术，针对功率器件裸芯片，提出了高性能和高可靠性设计、制造工艺保障、验证筛选等质量与可靠性保证方法和技术途径；讨论了采用临时封装夹具技术，对功率裸芯片进行热敏参数筛选、结温控制老化筛选、高温高压反偏筛选等，最终实现对功率裸芯片100％的筛选，满足MCM和HIC对功率裸芯片的质量与可靠性要求。
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