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建立了高精度仪器化压入仪深度测量随动盘的三维实体模型,并利用有限元分析软件ABAQUS计算了该模型的固有频率和振型。结果表明：深度测量随动盘第（1~6）阶的固有频率均处于低频范围（小于20Hz）,这就要求高精度仪器化压入仪的驱动部件应选用具有平滑线性力/行程控制特性的音圈电机,将压入测试时的加/卸载过程控制在准静态状态。此外,高精度仪器化压入仪应配备具有较好低频振动隔离特性的隔振台。分析对高精度仪器化压入仪的设计和改进以及工作环境的选择有一定指导意义。