【摘 要】
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针对高硬度金属基微结构镶块的加工,提出一种6工位组合电极电火花成形的新方法。以聚合物微流控芯片模具型腔镶块为研究对象,选用NAK80模具钢为镶块材料、铜钨合金（70%w）为电极
【机 构】
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大连理工大学模塑制品教育部工程研究中心,三菱电机大连理工大学电加工技术中心,大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（20890024）, 国家高技术研究发展计划（863计划 2012AA040406）资助项目国家自然科学基金（20890024）和国家高技术研究发展计划（863计划,2012AA040406）资助项目.
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针对高硬度金属基微结构镶块的加工,提出一种6工位组合电极电火花成形的新方法。以聚合物微流控芯片模具型腔镶块为研究对象,选用NAK80模具钢为镶块材料、铜钨合金（70%w）为电极材料,依据镶块上十字交叉的微凸起结构以及电火花成形电极的损耗规律,设计6工位窄缝组合电极。通过多次切割、恒速进给的工艺手段,利用精密慢走丝线切割加工出该组合电极,窄缝直角拐角处形状误差小于5μm、窄缝宽度误差在±2μm左右。利用此组合电极,以变换加工工位代替传统的更换电极工艺,在补偿电极损耗的同时避免引入重复定位误差,通过
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