【摘 要】
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应用模糊集理论对因子的严重度、检测度、可控度建立了相应的模糊语言术语集和模糊数,并结合关联矩阵法建立了适用于田口方法的因子选择模型。对影响高功率脉冲磁控溅射技术
【机 构】
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东北林业大学,哈尔滨(劳动)技师学院
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应用模糊集理论对因子的严重度、检测度、可控度建立了相应的模糊语言术语集和模糊数,并结合关联矩阵法建立了适用于田口方法的因子选择模型。对影响高功率脉冲磁控溅射技术制备的TiAlN涂层与硬质合金之间膜基结合力的工艺参数进行选择,应用田口方法对工艺参数基体偏压、脉冲电流、氩氮流量比、工作气压进行优化,优化后的工艺参数组合为基体偏压150 V,脉冲电流60 A,氩氮流量比24/6,工作气压为0.5 Pa。
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