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研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动 台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析，试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位优于±０．５μｍ可作为一般微机械系统中的精密工作台。
微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度分析
【摘 要】
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研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动 台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析，试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位优于±０．５μｍ可作为一般微机械系统中的精密工作台。
【机 构】
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西安交通大学RPM中心
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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1998年4期
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