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本文基于热力学平衡计算，首次给出了ＤＭｚ和Ｈ２Ｓｅ为源，ＭＯＶＰＥ生长ＺｎＳｅ迷仃图，语言中讨论了ＺｎＳｅ单一凝聚相区的范围，以及可能出现ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｚｎ（ｓ）或ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｓｅ（１）两种双凝聚相区的条件。
ZnSe的MOVPE生长相图：以DMZn和H2Se为源
【摘 要】
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本文基于热力学平衡计算，首次给出了ＤＭｚ和Ｈ２Ｓｅ为源，ＭＯＶＰＥ生长ＺｎＳｅ迷仃图，语言中讨论了ＺｎＳｅ单一凝聚相区的范围，以及可能出现ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｚｎ（ｓ）或ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｓｅ（１）两种双凝聚相区的条件。
【机 构】
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集成光电子学国家重点实验室中国科学院半导体研究所,半导体材料科学实验室中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年6期
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