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该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中，静电计测量的可变电容两电极问电位差可直接转换为位移，其原理，最终公式和测试电路相当简单，而分辨率，预期能达到nm量级。用静电计—平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论。
静电计检测微位移的原理和实验
【摘 要】
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该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中，静电计测量的可变电容两电极问电位差可直接转换为位移，其原理，最终公式和测试电路相当简单，而分辨率，预期能达到nm量级。用静
【机 构】
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传感技术国家联合重点实验室
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2008年2期
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