【摘 要】
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本工作研究了Al2O3保护层的厚度对高温下声表面波器件电极导电稳定性的影响,采用激光分子束外延方法在Pt/ZnO/Al2O3电极上制备了不同厚度的Al2O3保护层。通过测量样品高温环
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目(61223002).
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本工作研究了Al2O3保护层的厚度对高温下声表面波器件电极导电稳定性的影响,采用激光分子束外延方法在Pt/ZnO/Al2O3电极上制备了不同厚度的Al2O3保护层。通过测量样品高温环境中的实时电阻,发现Al2O3缓冲层的厚度对电极在高温下的导电稳定性的影响非常大。结果表明,没有Al2O3保护层时,Pt/ZnO/Al2O3电极的电阻升温至800℃时开始急剧地增加。当包覆40nm的Al2O3保护层时,电极在升温至900℃以上才出现电阻值剧烈增加的现象。而随着Al2O3保护层厚度的增加,电极的电阻在高温下的导电
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