【摘 要】
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早在25年前MEMS(微电机械系统)就已问世,但直到90年代才成为活跃的商品,
As early as 25 years ago MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) had come out, but it became
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早在25年前MEMS(微电机械系统)就已问世,但直到90年代才成为活跃的商品,
As early as 25 years ago MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) had come out, but it became an active commodity until the 1990s,
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