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采用波长为172nIn的真空紫外光刻蚀技术（VUV）对清洗后的PET基片表面性质直接进行微加工，并在其表面上进行选择性无电解镀银处理。通过对紫外光照处理前后的PET基片进行水接触角测试、XPS测试，表征了PET基片在处理前后所具有的不同表面状态。将在真空条件下通过紫外光选择性刻蚀的的PET基片放在化学镀银液中，被还原出来的金属银颗粒就会沉积在PET基片上的被辐射区域。利用光学显微镜和场发射SEM观察镀银后PET基片表面的微银图案。结果表明：紫外光照可使PET基片表面改性，利用真空紫外光刻蚀技术（VUV）对