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本文描述了一种等平面工艺和金属剥离技术在低电容、高可靠晶体管生产中的实际应用，通过采用这两种工艺，不仅使得晶体管输出电容减小１４％，也使可靠性明显提高，从而满足了微波电路使用的特殊要求。
等平面和金属剥离工艺在低电容高可靠晶体管生产中的应用
【摘 要】
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本文描述了一种等平面工艺和金属剥离技术在低电容、高可靠晶体管生产中的实际应用，通过采用这两种工艺，不仅使得晶体管输出电容减小１４％，也使可靠性明显提高，从而满足了微波电路使用
【机 构】
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沈阳飞达半导体器件厂
【出 处】
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辽宁大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年2期
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