【摘 要】
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光刻胶的前烘与坚膜是微机械加工工艺中不可缺少的两道工序.用于光刻胶烘干的热板对表面温度场分布的均匀性和温度控制稳定性均有较严格的要求.本文描述了利用有限元软件对加
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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光刻胶的前烘与坚膜是微机械加工工艺中不可缺少的两道工序.用于光刻胶烘干的热板对表面温度场分布的均匀性和温度控制稳定性均有较严格的要求.本文描述了利用有限元软件对加热板的稳态温度场、瞬态响应进行分析,获得其最佳温度场分布,从而建立数学模型;然后利用MATLAB软件对PID控制仿真,以分析电加热板对温度的稳定性与均匀性的影响.
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