DDI METHOD FOR MEASURING OPTICAL CONSTANTS OF THIN FILMS

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双光束双波长激光干涉(DDI)法采用自行设计的可测双波长氦氖激光器作光源,可在同一光路中通过二次测量获得薄膜样品两个波长(0.633μm,3.39μm)下的光学常数,即折射率、消光系数和厚度,文中论述了调量原理、测量装置和测量结果.
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