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DDI METHOD FOR MEASURING OPTICAL CONSTANTS OF THIN FILMS
DDI METHOD FOR MEASURING OPTICAL CONSTANTS OF THIN FILMS
来源 :Transactions of Tianjin University | 被引量 : 0次 | 上传用户:handsomeboywp
【摘 要】
:
双光束双波长激光干涉(DDI)法采用自行设计的可测双波长氦氖激光器作光源,可在同一光路中通过二次测量获得薄膜样品两个波长(0.633μm,3.39μm)下的光学常数,即折射率、消光系数和厚度,文中论述了调
【作 者】
:
谷晋骐
郑永星
【机 构】
:
天津大学应用物理系
【出 处】
:
Transactions of Tianjin University
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
DDI
薄膜
光学常数
DDI
thin film
optical constant
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双光束双波长激光干涉(DDI)法采用自行设计的可测双波长氦氖激光器作光源,可在同一光路中通过二次测量获得薄膜样品两个波长(0.633μm,3.39μm)下的光学常数,即折射率、消光系数和厚度,文中论述了调量原理、测量装置和测量结果.
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