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介绍了近几年来发展较快的合成金刚石薄膜的几种方法，以及合成过程中的成核机理，并重点讨论了影响金刚石薄膜质量的几个因素。同时对目前金刚石薄膜的应用领域和其中存在的问题作了简要讨论。
金刚石薄膜的研究进展
【摘 要】
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介绍了近几年来发展较快的合成金刚石薄膜的几种方法，以及合成过程中的成核机理，并重点讨论了影响金刚石薄膜质量的几个因素。同时对目前金刚石薄膜的应用领域和其中存在的问题
【机 构】
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太原理工大学表面工程研究所
【出 处】
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太原理工大学学报
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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山西省自然科学基金资助项目! ( 92 0 57)
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