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采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积，制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体，并利用X射线衍射（XRD）、透射电镜（TEM）和傅立叶红外（FTIR）研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相．讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素，并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数．
流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备
【摘 要】
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采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积，制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体，并利用X射线衍射（XRD）、透射电镜（TEM）和傅立叶红外（FTIR）研究了该纳米粉体的形貌、成
【机 构】
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浙江理工大学,浙江大学
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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2006年1期
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