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扫描电镜s-8820常见问题分析
扫描电镜s-8820常见问题分析
来源 :电子技术与软件工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:net_goose
【摘 要】
:
本文简单介绍电子显微镜的原理以及两种电子显微镜的名称,对s-8820电子扫描显微镜结构组成,安装条件进行简明扼要的说明。结合多年实际维修、维护工作,对该设备常见的图像问
【作 者】
:
余廷义
【机 构】
:
深圳深爱半导体股份有限公司
【出 处】
:
电子技术与软件工程
【发表日期】
:
2019年12期
【关键词】
:
电子显微镜
扫描电子显微镜
CDSEM
s-8820
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本文简单介绍电子显微镜的原理以及两种电子显微镜的名称,对s-8820电子扫描显微镜结构组成,安装条件进行简明扼要的说明。结合多年实际维修、维护工作,对该设备常见的图像问题进行总结分析,并提出了一个通用可行的解决方法,对一加速电压的选择进行辩证的说明。
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