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MEMS是当今迅速发展的一门新兴学科.本文在对MEMS技术进行概述的基础上,列举了MEMS技术的应用,介绍了MEMS技术的发展前景.
MEMS的应用及发展前景
【摘 要】
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MEMS是当今迅速发展的一门新兴学科.本文在对MEMS技术进行概述的基础上,列举了MEMS技术的应用,介绍了MEMS技术的发展前景.
【机 构】
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云南广播电视大学,昆明理工大学
【出 处】
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云南电大学报
【发表日期】
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2003年3期
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