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给出一种高分辨光谱数据处理的普适方法,它利用博里叶反卷积、滤波等技术对谱仪记录的光谱进行还原,去除实验安排中的源加宽等因素对谱分辨率的影响;然后再进行非线性最小二乘法拟合,突破谱仪的光谱分辨率极限,求得光谱的精细结构.给出了数据处理软件的基本结构框图,及应用于镁的类H、类He X光光谱求解证明了其有效性和实用性.