彩色共聚焦测量技术因无需轴向扫描，测量精度和测量效率高等优点，被广泛应用于工业领域，如高度测量和透明材料厚度检测等。然而，常见的彩色共聚焦系统多为同轴照明结构，即照明光轴和成像光轴都垂直于被测试样，系统的信噪比和光能利用率大大降低。现有的斜照明系统成像面光点漂移量较大，测量精度和应用范围受限。为此，本文提出一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量方法，将现有斜照明系统的“V字形”结构调整为“三轴结构”，通过增加调节支路限制光点的漂移；同时，利用面阵彩色相机作为光电接收器件，结合颜色转换算法通过光点颜色得到所需高度值。本文先进行标定实验确定本装置的测量范围及精度；再依次以自制台阶和透明材料作为测量对象，得到相应的被测值。同时，为了验证改进后的系统性能，在相同条件下利用“V字型”系统进行对比实验。实验结果表明，该系统的轴向测量范围为350μm，重复性优于1.69，轴向测量精度可达到微米级，且该系统具有良好的透明材料厚度测量能力。通过对比试验可以验证，系统对于光点漂移具有良好的抑制效果，且抑制后系统的测量准确度有明显提升。