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利用Nd-YAG激光器（波长为1064nm，频率为10Hz）做光源，采用纯金属锌靶，以Si（111）为基体在有氧的气氛中通过激光烧蚀锌靶表面来制备氧化锌薄膜，研究基体温度对ZnO薄膜结构及发光性能的影响。通过XRD和AFM原子力显微镜来表征氧化锌薄膜的结构和表面形貌，其光学性质由光致发光谱来表征。结果表明：在450—550℃的条件下沉积的ZnO薄膜具有c-轴择优取向，500℃时c-轴取向最明显。具有c-轴取向的ZnO薄膜具有强的紫外光发射和弱的绿光发射，发光中心在518nm处的黄绿光发射主要归因于电子从导