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即使供应商提供了最高等级的超高纯度工艺气体,fab内气体输送管道以及储存罐阀门所产生的杂质仍然会在气体进入反应腔前造成反应气体污染。而气体输送管线上的气体净化器可以解决这个问题。
气体净化器防止工艺气体污染
【摘 要】
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即使供应商提供了最高等级的超高纯度工艺气体,fab内气体输送管道以及储存罐阀门所产生的杂质仍然会在气体进入反应腔前造成反应气体污染。而气体输送管线上的气体净化器可以
【机 构】
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TechcetGroupLLC
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年09期
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