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文章介绍了ＪＭ－２型背照式ＰＩＮ光电探测器对位显微监视系统的工作原理，以及在烧结工艺上的应用和实验结果，其工艺精度可达０．０５ｍｍ。
JM—2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统
【摘 要】
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文章介绍了ＪＭ－２型背照式ＰＩＮ光电探测器对位显微监视系统的工作原理，以及在烧结工艺上的应用和实验结果，其工艺精度可达０．０５ｍｍ。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1996年3期
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