IntelliSuite(R) EMagAnalysis:一种真实形变结构的S参数提取工具

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cheayu123

【摘要】

：

将IntelliSuite(R) EMagAnalysis电磁分析模块与IntelliSuite(R) TEMAnalysis热机电耦合分析模块结合起来,利用两模块之间数据结构的兼容性,提取真实形变结构的S参数的方法.

【作者】

：

徐帆张善亮周磊徐波

【机构】

：

江苏英特神斯科技有限公司

【出处】

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传感技术学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

RF MEMS 数值计算 S参数

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将IntelliSuite(R) EMagAnalysis电磁分析模块与IntelliSuite(R) TEMAnalysis热机电耦合分析模块结合起来,利用两模块之间数据结构的兼容性,提取真实形变结构的S参数的方法.并用这种方法分析了RF开关的一种经典结构,取得了不错的效果,同时填补了国际上相关领域的空白.

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