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综述了ＧａＮ基薄膜材料研制与器件开发的新进展，着重阐明其技术突破与商品化应用前景。
GaN基薄膜材料和器件的最新进展
【摘 要】
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综述了ＧａＮ基薄膜材料研制与器件开发的新进展，着重阐明其技术突破与商品化应用前景。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年3期
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