【摘 要】
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研究了以Si掺杂SnO2作为热线型气体传感器补偿元件材料来提高SnO2基气体传感器抗湿度干扰能力。采用共沉淀法制备Si掺杂SnO2作为补偿元件材料，Sb掺杂SnO2作为敏感元件材料，并对
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研究了以Si掺杂SnO2作为热线型气体传感器补偿元件材料来提高SnO2基气体传感器抗湿度干扰能力。采用共沉淀法制备Si掺杂SnO2作为补偿元件材料，Sb掺杂SnO2作为敏感元件材料，并对所制备材料进行表征。考察了Sb掺杂量对传感器响应值影响和Si掺杂SnO2对抗湿性能影响，同时讨论了抗湿性能机理。结果表明，敏感元件材料中摩尔比Sb/Sn为6%使SnO2基传感器对体积分数1000×10–6H2灵敏度由108mV提高至435mV，补偿元件材料摩尔比Si/Sn为0.7%使湿度引起的响应值相对误差降至8
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