【摘 要】
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采用交流磁控溅射制备高阻ZnO和直流溅射ZnO∶Al薄膜,研究几种溅射工艺条件与ZnO薄膜性能关系以及对铜铟镓硒(CIGS)光伏电池的影响。通过不同的工艺参数改变控制,得到了性能
【基金项目】
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"国家高技术发展计划"项目资助(2001AA513020)
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采用交流磁控溅射制备高阻ZnO和直流溅射ZnO∶Al薄膜,研究几种溅射工艺条件与ZnO薄膜性能关系以及对铜铟镓硒(CIGS)光伏电池的影响。通过不同的工艺参数改变控制,得到了性能优良的ZnO薄膜,同时表明电池窗口层ZnO薄膜工艺参数对铜铟硒电池性能影响至关重要。尤其是ZnO薄膜的电阻率和迁移率,这两项指标的优化可以使电池的填充因子有10%以上的提高。不论是高阻ZnO还是低阻ZnO薄膜对电池的填充因子都有着重要的影响,采用优化工艺所制备的CIGS光伏电池窗口层ZnO薄膜以后,目前研制的电池转换效率已达到12 1%。
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