【摘 要】
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采用X 射线光电子能谱(XPS)分析了单层和双层SiNx 膜中的化学键、N/Si 比及Si、N、C、O 原子百分比，进一步验证了等离子体增强化学气相沉积法沉积单层和双层SiNx膜对单晶硅太阳电池电学性能的影响。XPS、反射率及少子寿命的分析表明，NH3和SiH4在单晶硅表面生成了含有H 的SiNx薄膜，双层SiNx外层膜的N/Si 比略高于单层膜，起到了更好的减反射效果，内层膜比单层膜富Si，起到了更好的钝化效果。电学测试结果表明，相比单层SiNx膜单晶硅太阳电池，双层SiNx膜单晶硅太阳电池开路电压提高
【机 构】
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拉萨师范高等专科学校信息技术系,西藏拉萨850007西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安710048
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采用X 射线光电子能谱(XPS)分析了单层和双层SiNx 膜中的化学键、N/Si 比及Si、N、C、O 原子百分比，进一步验证了等离子体增强化学气相沉积法沉积单层和双层SiNx膜对单晶硅太阳电池电学性能的影响。XPS、反射率及少子寿命的分析表明，NH3和SiH4在单晶硅表面生成了含有H 的SiNx薄膜，双层SiNx外层膜的N/Si 比略高于单层膜，起到了更好的减反射效果，内层膜比单层膜富Si，起到了更好的钝化效果。电学测试结果表明，相比单层SiNx膜单晶硅太阳电池，双层SiNx膜单晶硅太阳电池开路电压提高了2 mV、短路电流提高了47 mA、转化效率提高了0.17%。
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