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美国斯坦福大学（Stanforduniversity）的研究人员最近开发出一种创新的晶圆等级（Wafer-scale）剥离（Lift—off）工艺，能在可重复使用的硅晶圆上制作纳米线电路，然后将之移植到任意形状的、采用任何一种材料的衬底上。
美国斯坦福大学开发纳米电路剥离工艺
【摘 要】
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美国斯坦福大学（Stanforduniversity）的研究人员最近开发出一种创新的晶圆等级（Wafer-scale）剥离（Lift—off）工艺，能在可重复使用的硅晶圆上制作纳米线电路，然后将之移植到任意形状的
【出 处】
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上海化工
【发表日期】
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2011年9期
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