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分析了静电驱动原理以及失效原因,针对静电驱动的特点设计了用于静电驱动的控制电源,该电源采用内嵌DAC的ADuC842系统作为控制芯片,与信号采集及反馈电路一同构成闭环控制系统,控制DC-DC变换器产生大范围的稳定电压。输出电压范围15~80V,电压文波〈800mV。
嵌入式静电驱动控制电源设计
【摘 要】
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分析了静电驱动原理以及失效原因,针对静电驱动的特点设计了用于静电驱动的控制电源,该电源采用内嵌DAC的ADuC842系统作为控制芯片,与信号采集及反馈电路一同构成闭环控制系
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2011年4期
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