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为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感10~5～10~（-1）Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于半导体设备腔室中真空度的测量.
自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用
【摘 要】
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为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感10~5～10~（-1）Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电
【机 构】
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大连理工大学微电子学院
【出 处】
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实验技术与管理
【发表日期】
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2018年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金项目(61201035)
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