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本文主要介绍美国莫尔产品公司和日本富士株氏会社９０年代推出的新型高精度智能化变送器及其结构、特点、误差，以期达到对这种微传感器变送器的了解。
微电容硅传感器及其变送器
【摘 要】
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本文主要介绍美国莫尔产品公司和日本富士株氏会社９０年代推出的新型高精度智能化变送器及其结构、特点、误差，以期达到对这种微传感器变送器的了解。
【机 构】
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洞庭氮肥厂
【出 处】
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计算技术与自动化
【发表日期】
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1994年1期
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