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采用扇形镶嵌结构的复合靶,基片采用镍片和AC试纸,用溅射法制作Ni-Ti和Nb-Ni储氢合金薄膜,最后对储氢合金薄膜的性能与结构进行了分析.
AB储氢合金薄膜的制作
【摘 要】
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采用扇形镶嵌结构的复合靶,基片采用镍片和AC试纸,用溅射法制作Ni-Ti和Nb-Ni储氢合金薄膜,最后对储氢合金薄膜的性能与结构进行了分析.
【机 构】
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沈阳工业学院计算中心
【出 处】
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沈阳工业学院学报
【发表日期】
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2002年1期
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