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溶胶-凝胶提拉法制备ZnO薄膜及其性能研究

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rilson

【摘 要】

：

采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带

【作 者】

：

宋永梁 季振国 王泉香 向因 叶志镇 

【机 构】

：

浙江大学硅材料国家重点实验室

【出 处】

：

材料科学与工程学报

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

溶胶-凝胶提拉法 ZNO薄膜 荧光光谱 透射光谱 半导体材料 ZnO thin film  photoluminescence  sol-gel  dip-co 

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采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用荧光光谱分析了经过400～600℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下可获得较强的紫外带边发射.适当选择热处理温度可以获得无可见波段发射的ZnO薄膜.

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