【摘 要】
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本文用化学反应动力学中的质量作用定律及阿累乌尼斯（Ａｒｒｂｅｎｉｕｓ）定律，对金属氧化物半导体一些统计公式进行了研究，给出了费米（Ｆｅｒｍｉ）函数、氧空位施主浓度的公式，表面吸附氧的氧原子及氧离子浓度公
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本文用化学反应动力学中的质量作用定律及阿累乌尼斯（Ａｒｒｂｅｎｉｕｓ）定律，对金属氧化物半导体一些统计公式进行了研究，给出了费米（Ｆｅｒｍｉ）函数、氧空位施主浓度的公式，表面吸附氧的氧原子及氧离子浓度公式．并对有关问题进行了讨论．
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