【摘 要】
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一、前言ＭＥＭＳ(ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ,微机电系统 )是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术 ,是未来的主导产业之一。ＭＥＭＳ以其微型化的优势 ,在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的
【机 构】
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国家“863”计划机器人技术主题专家组,国家“863”计划机器人技术主题专家组,国家“863”计划机器人技术主题专家组
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一、前言ＭＥＭＳ(ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ,微机电系统 )是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术 ,是未来的主导产业之一。ＭＥＭＳ以其微型化的优势 ,在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。针对国际Ｍ
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