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通过微磨料空气射流加工普通平板玻璃的试验研究，分析了加工时间、空气压力、磨料流量、喷射距离、喷射角度、磨料种类、喷嘴结构和尺寸等加工工艺参数与微磨料空气射流加工的材料冲蚀率及玻璃表面冲蚀加工凹坑尺寸（凹坑直径和凹坑深度）之间的关系，得出了这些工艺参数对微磨料空气射流加工效果的影响规律。结果表明：喷射距离对材料冲蚀率和冲蚀凹坑的尺寸影响最大，存在一个可以获得最大冲蚀率和加工深度的最佳喷射距离；喷嘴的形状、尺寸和喷射角度的不同直接改变加工凹坑的轮廓，是影响微磨料空气射流加工轮廓结构形状的关键因素。