2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 底电极种类对BCZT薄膜储能性能的影响

底电极种类对BCZT薄膜储能性能的影响

来源 :广西大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：weijiang321

【摘 要】

：

拥有高的储能密度值和良好的温度稳定性的介电薄膜电容器在现代微电子系统中非常具有吸引力。为研究不同底电极对(Ba(0.904)Ca(0.096))(Zr(0.136)Ti(0.864))O3(BCZT)薄膜储能

【作 者】

：

何上恺 唐嗣麟 梁国闯 彭彪林 王宁章 

【机 构】

：

广西大学资源环境与材料学院,广西大学物理科学与工程技术学院,镍钴资源综合利用国家重点实验室

【出 处】

：

广西大学学报:自然科学版

【发表日期】

：

2019年5期

【关键词】

：

BCZT 溶胶凝胶 薄膜 储能 热稳定性 BCZT sol-gel thin film energy storage thermal stability 

【基金项目】

：

国家自然科学基金(51402196、51602159),广西自然科学基金(2016GXNSFCB380006、2017GXNSFFA198015),广西大学人才引进科研启动基金(Grant XTZ160530),“镍钴资源综合利用国家重点实验室”开放课题资助项目(金科冶2019-01)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

拥有高的储能密度值和良好的温度稳定性的介电薄膜电容器在现代微电子系统中非常具有吸引力。为研究不同底电极对(Ba(0.904)Ca(0.096))(Zr(0.136)Ti(0.864))O3(BCZT)薄膜储能性能的影响,采用溶胶凝胶法制备了沉积在不同底电极上的BCZT薄膜。除了Pt(111)/TiOx/SiO2/Si底电极(简写为Pt)外,引入了LaNiO3氧化物导电层构造LaNiO3/Pt复合底电极。微观结构测试结果表明,LaNiO3氧化物导电层的引入有效的改善了BCZT薄膜的表面形貌,薄膜表面气孔尺寸

其他文献

糖厂锅炉烟道气吸附过程数值模拟

使用Aspen Adsorption对经过预处理的锅炉烟道气进行吸附过程数值模拟,通过对文献中静态吸附数据进行吸附等温线常数的估算,建立了烟道气的单塔吸附模型。模拟得出了CO2的吸

期刊

烟道气浓缩CO_2吸附过程数值模拟flue-gasCO 2 of concentrationadsorption processnumerical

倒角竖向开裂型方钢管短柱高温后轴压力学性能试验研究

通过对12个倒角竖向开裂型方钢管短柱进行高温后轴压力学性能试验,研究不同温度和不同竖向裂缝长度对试件极限承载力和破坏模式的影响,描述了荷载—位移曲线、荷载—应变曲线

期刊

倒角竖向开裂方钢管短柱温度裂缝长度极限承载力破坏模式应变强度vertical cracks at corner filetsquare stee