【摘 要】
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提出了SiC基MEMS压敏电阻的制造工艺,在4英寸(1英寸=2.54 cm)偏向<1120>的4H-SiC晶片同质外延生长了高质量的n型和p型外延层,并且利用激光喇曼光谱、X射线衍射(XRD)和二次离
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室; 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
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提出了SiC基MEMS压敏电阻的制造工艺,在4英寸(1英寸=2.54 cm)偏向<1120>的4H-SiC晶片同质外延生长了高质量的n型和p型外延层,并且利用激光喇曼光谱、X射线衍射(XRD)和二次离子质谱(SIMS)三种测试方法对样品的结晶质量、掺杂浓度及外延厚度进行了分析测试。在同质外延2μm的n型外延层后,通过对比衬底与外延膜的喇曼光谱图可知,外延膜很好地延续了衬底的晶型。用二次离子质谱对最外层的n型外延层的掺杂元素N元素的浓度进行了测试,结果表明N元素在掺杂范围内分布均匀,达到中等浓度的水平,并且测出掺杂厚度为1.98μm。掺杂浓度的喇曼测试结果与二次离子质谱的实验数据一致。最后,通过四探针测量方块电阻的方法得出其最大电阻率与最小电阻率,径向不均匀度为26.27%,表现出良好的电学特性。
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